iFile = "c:\folder_for_binary\test.bin"
If Dir(iFile) = "" Then ' Проверяем наличие файла
' Если файла нет, предлагаем указать, где находится нужный файл
    iFile = Application.GetOpenFilename("Binare Dateien, *.bin", , "Datei offnen")
    If Dir(iFile) = "" Then
' Если файла все равно нет, делать больше нечего
        Exit Sub
    End If
End If

Sub Bin2Xls()

Dim iFile
Dim lSize

'Bin-Datei цffnen
'iFile = Application.GetOpenFilename("Binдre Dateien, *.bin", , "Datei цffnen")
'iFile = "D:\test2.bin"
iFile = "C:\1_0\test2.bin"
If Dir(iFile) = "" Then ' Проверяем наличие файла
' Если файла нет, предлагаем указать, где находится нужный файл
    iFile = Application.GetOpenFilename("Binare Dateien, *.bin", , "Datei offnen")
    If Dir(iFile) = "" Then
' Если файла все равно нет, делать больше нечего
        Exit Sub
    End If
End If

ChDir FilePath(iFile)

'Datenfeld einlesen
Dim arr() As Single
'Set fs = CreateObject("Scripting.FileSystemObject")
'Set fso = fs.GetFile(iFile)
lSize = FileLen(iFile) 'fso.Size

ReDim arr( 1  To lSize /  4 )
Open iFile For Binary Access Read As # 1 
Get # 1 , , arr
Close # 1 

'Datenfeld in Tabelle schreiben
Set NewSheet = ThisWorkbook.Worksheets.Add 'after:=ThisWorkbook.Worksheets.Count
NewSheet.Name = ShortFileName(iFile)
For ii =  1  To UBound(arr) /  2 
   NewSheet.Cells(ii,  1 ).Value = arr(ii *  2  -  1 )
   NewSheet.Cells(ii,  2 ).Value = arr(ii *  2 )
   NewSheet.Cells(ii,  3 ).Value = Sqr(arr(ii *  2  -  1 ) ^  2  + arr(ii *  2 ) ^  2 )
   'NewSheet.Cells(ii, 4).Value = Tan(arr(ii * 2) / arr(ii * 2 - 1)) * 180 / 3.14159
Next ii
End Sub