if (File.Exists("C:\\tmp.xlsx"))
            File.Delete("C:\\tmp.xlsx");
            ObjWorkBook.SaveAs("C:\\tmp.xlsx");

            //Закрытие книгу Excel.
            ObjWorkBook.Close();
            //Закрытие приложения Excel.
            ObjExcel.Quit();
            //Обнуляем созданые объекты
            ObjWorkBook = null;
            ObjWorkSheet = null;
            ObjExcel = null;
            //Вызываем сборщик мусора для их уничтожения и освобождения памяти
            GC.Collect();
            
            byte[] file = File.ReadAllBytes("C:\\tmp.xlsx");

private static byte[] ObjectToByteArray(Object obj)
        {
            if (obj == null)
                return null;
            BinaryFormatter bf = new BinaryFormatter();
            MemoryStream ms = new MemoryStream();
            bf.Serialize(ms, obj);
            return ms.ToArray();
        }