По умолчанию RegEx компилирует регулярные выражения в последовательность внутренних байт-кодов регулярных выражений (это высокоуровневый код). При выполнении регулярных выражений происходит интерпретация байт-кода.
Если при создании объекта RegEx в конструкторе New была установлена константа Compiled, то RegEx будет скомпилирован в MSIL (Microsoft intermediate language). Это позволит JIT-компилятору преобразовать выражение в машинный код, что значительно повышает производительность.
Более подробно смотри:
Регулярные выражения