Пишу как сказано здесь

Dim objExcel As Excel.Application
Dim objBook As Excel.Workbook
Dim objSheet As Excel.Worksheet
Dim FileName As String
Dim I As Integer
FileName = "123.xls"
objExcel = New Excel.Application
objBook = objExcel.Workbooks.Add
objSheet = objBook.ActiveSheet

System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject(objSheet)
objSheet = Nothing
objBook.SaveAs(FileName)
objBook.Close()
System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject(objBook)
objBook = Nothing
objExcel.Quit()
System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject(objExcel)
objExcel = Nothing
GC.Collect()

В результате процесс "Excel" все равно остается висеть.
Что делать?

Спасибо, уже нашел
GC.Collect() надо было запускать из той же процедуры, из которой вызывается запуск Excel

т.е.

Sub proc_1()
proc_2()
GC.Collect()
end sub

Sub proc_2()
открываем Excel и работаем с ним
end sub